🔬

Panduan Penggunaan SEM

Jul 24, 2025

Overview

Video ini membahas prosedur penggunaan Scanning Electron Microscopy (SEM) untuk karakterisasi material, mulai dari persiapan sampel hingga analisis hasil pengujian.

Prosedur Umum Pengujian SEM

  • Pengujian SEM wajib menggunakan jaslab dan sarung tangan latex sebagai standar safety.
  • Persiapan material dilakukan dengan memotong karbon tape dan menempelkannya pada kuvet.
  • Sampel diambil secukupnya, ditempelkan pada karbon tape di kuvet menggunakan pinset dan alat bantu lain.
  • Coating sampel menggunakan emas selama sekitar 1 menit untuk meningkatkan konduktivitas.
  • Sampel yang sudah siap diletakkan pada specimen holder, lalu dimasukkan ke alat SEM.

Pengoperasian Alat SEM dan Software

  • Setelah alat SEM dinyalakan, software Neoscope digunakan untuk observasi dan pengujian.
  • Menu utama pada software meliputi pilihan mode pengujian (morfologi, mapping, ODA) dan tipe scan (quick, slow, live map).
  • Fitur lain pada software memungkinkan pengaturan fokus, brightness, pengambilan gambar, pengukuran partikel, serta export data hasil pengujian.
  • Terdapat mode high vacuum yang disarankan untuk sampel yang konduktif.

Analisis Morfologi Sampel

  • Sampel diamati dengan perbesaran hingga 1000x untuk mengamati ukuran partikel (~10 mikron).
  • Ukuran partikel dapat dihitung dengan fitur goal atau menggunakan skala manual pada gambar.
  • Hasil gambar diamati, difokuskan dengan image processing, lalu disimpan dalam folder.

Analisis Mapping dan EDX

  • Mapping digunakan untuk mengetahui persebaran elemen dalam partikel menggunakan kode warna.
  • EDX (Energy Dispersive X-ray) menganalisis kandungan unsur pada sampel dengan opsi area, garis, titik, atau partikel.
  • Hasil analisis menampilkan grafik dan persentase massa unsur seperti karbon, oksigen, aluminium, cobalt, dan emas.

Key Terms & Definitions

  • SEM (Scanning Electron Microscopy) — Mikroskop elektron untuk melihat permukaan dan struktur mikro material.
  • Coating — Proses pelapisan sampel dengan logam (biasanya emas) untuk meningkatkan konduktivitas listrik.
  • Kuvet — Wadah untuk meletakkan sampel dalam pengujian SEM.
  • Specimen holder — Alat penahan kuvet di dalam SEM.
  • EDX (Energy Dispersive X-ray) — Fitur analisis kandungan unsur kimia pada sampel.
  • Mapping — Analisis distribusi unsur pada permukaan sampel dengan visualisasi warna.

Action Items / Next Steps

  • Praktikkan prosedur persiapan dan pengujian SEM sesuai langkah-langkah di atas.
  • Pelajari kembali fungsi dan penggunaan software Neoscope untuk pengolahan data.